工艺仿真Victory Process

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Victory Process是一个版图驱动的通用1D、2D和3D工艺仿真器, 包括蚀刻和淀积、注入、扩散和氧化仿真功能。专利模型以及公共领域研究模型通过开放式建模接口可以集成到Victory Process。


软件特点:

    1,快速的三维结构原型制作功能可对某些特别工艺问题进行深入的物理分析;

    2,具有一套完整的扩散模型:费米(Fermi)、fullcpl、单对和五路层流( five-stream)模型;

    3,通过应力分析进行物理氧化仿真;

    4,极其精确快速的蒙特卡罗注入仿真;

    5,高效的多线程可在关键时间操作蒙特卡罗注入、扩散、氧化,以及物理刻蚀与淀积;

    6,尖端的多粒子流量模型可通过再淀积衬底材料来进行物理淀积与刻蚀;

    7,开放式结构可轻松引入并修改客户定制的物理模型;

    8,与三维器件仿真器无缝链接,包括结构镜像、自适应掺杂细化以及电极规格设定等;

    9,所用的 SUPREM 式语法简单易学及用户友好;

    10,兼容于Athena;

    11,在2D模式下便利的校准平台和快速的流程测试(无需运行3D校准);

    12,自动从一维、二维和三维模式切换。


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联系地址:北京市朝阳区金海商富中心B座1003室             电话:010-59693209             传真:010-59693209                       联系邮箱:info@beijinggt.com
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